Поделиться
Власти выделили миллиарды на российские установки для производства чипов взамен американских и европейских
Минпромторг выделил почти 7 млрд руб. на освоение производства в стране пяти установок, необходимых для создания микроэлектроники. Аналогами такого оборудования выступают американские, европейские и японские установки.
Установки на миллиарды
Как выяснил CNews, Минпромторг выделил свыше 6,8 млрд руб. на освоение оборудования для производства микроэлектроники в стране. Речь идет о пяти тендерах, которые были опубликованы на портале госзакупок 25 ноября 2025 г.
Самую большую сумму из этих пяти тендеров (1,99 млрд руб.) ведомство выделило на разработку промышленно-ориентированного кластерного комплекса нанесения слоев алюминиевой металлизации методом вакуумного напыления. Установка должна будет работать с пластинами диаметром 200 мм, по технологии 180-90 нанометров (нм), следует из тендерной документации.
Аналогом такого оборудования являются американская Applied Materials 0230-70040 Endura HP PVD и швейцарская Evatec Clusterline 300.
Работа должна быть выполнена до 30 сентября 2030 г.
Еще 1,61 млрд руб. Минпромторг выделил на разработку автоматизированной установки измерения рассовмещения топологических слоев на кремниевых пластинах диаметром 150, 200 мм. Ее же аналогом выступает американская ARCHER 10 XT производства KLA TENCOR.
Работа должна быть выполнена 31 июля 2029 г.
Давай отжигать
Министерство выделило и средства на две установки печей и отжига. Например, на разработку и изготовление опытных образцов вертикальных диффузионных печей для высокотемпературной обработки кремниевых пластин до 200 мм, обеспечения базовых технологических процессов изделий с нормами 180-90 нм Минпромторг выделил 1,52 млрд руб.
Установка нужна для группового атмосферного влажного окисления в парах воды, отжига, химического осаждения диэлектрических и поликремниевых слоев и т.д. Ее аналогом выступает японская TELALPHA.
Работа должна быть выполнена до 31 октября 2029 г.
На разработку установки лазерного отжига пластин кремния министерство выделило 1,39 млрд руб. Целью проекта является разработка и изготовление опытного образца установки лазерного отжига для производства кремниевой силовой ЭКБ на пластинах диаметром до 200 мм. Опционально транспортный модуль должен обеспечивать работу с пластинами диаметра 150 мм, следует из технического задания.
Работа должна быть выполнена до 30 октября 2028 г.
И 368,6 млн руб. ведомство выделило на разработку установки автоматической разбраковки кристаллов с пластинами диаметром до 300 мм. Ее аналогом выступает американская Royce AP.
Установка предназначена для реализации технологического процесса сортировки кристаллов, например, по механическим дефектам разделения (сколы, трещины) и т.д.
Работы должны быть выполнены до 30 сентября 2028 г.
Все тендеры опубликованы в формате открытого конкурса, заявки принимаются до 11 декабря. Работы по ним входят в госпрограмму «Научно-технологическое развитие Российской Федерации». А комплектующие и материалы, которые будут использоваться для создания оборудования, должны быть отечественного производства и обеспечивать отсутствие критической зависимости от иностранных производителей.
Большая работа
Перечисленные тендеры, далеко не первые. Минпромторг активно публиковал подобные работы с 2023 г., которые уже выполняются. Поэтому на отечественные микроэлектронные заводы до 2032 г. поступят 122 российских установки для производства микросхем. Среди них есть установки для переноса изображения на пластину на уровне топологии, установка контроля топологического рисунка фотошаблонов, кластер плазмо-химического травления, установка для выращивания кристаллов Ge и др.
Около 70% оборудования и материалов для производства микроэлектроники планируется импортозаместить к 2030 г. Для формирования дорожной карты было выбрано 20 технологических маршрутов, включая микроэлектронику (от 180 до 28 нм), СВЧ-электронику, фотонику, силовую электронику, производство фотошаблонов и сборку ЭКБ и модулей, производство пассивной электроники и т. д.
Однако накануне CNews писал о том, что средств на освоение установок для производства микроэлектроники не хватает. Хотя Минпромторг заверяет, что не собирается отказывать от части работ, которые пока были сдвинуты по срокам из-за недофинансирования.
Поделиться
Короткая ссылка
