Спецпроекты

Техника Импортонезависимость

«Микрон» тестирует первый российский фоторезист для 90 нм производства

«Микрон», российский производитель микроэлектроники (входит в группу компаний «Элемент»), резидент ОЭЗ «Технополис Москва», тестирует первый высокочувствительный фоторезист отечественного производства для техпроцессов 90 нм. Об этом CNews сообщили представители ГК «Микрон».

В техпроцессах «Микрона» используются 43 сверхчистых химических материала и 39 специальных электронных газов и смесей, ведется работа по замене всех компонентов отечественными аналогами в целях обеспечения технологического суверенитета.

«Выпуск отечественных материалов для микроэлектроники открывает путь к прекращению монополии иностранных игроков. Работы по импортозамещению важно вести в кооперации с научными учреждениями – тогда исследования сразу переходят в производство, – отметила Гульнара Хасьянова, генеральный директор АО «Микрон». – Отечественный фоторезист для 90 нм – это важная веха в импортозамещении материалов и развитии производства микроэлектроники. Микрон ведет беспрецедентную в мировой практике замену материалов на действующем производстве. Приглашаем к сотрудничеству всех заинтересованных производителей».

В программе «Микрона» по импортозамещению материалов участвуют в настоящее время более 16 российских производителей и научных институтов. Новый отечественный фоторезист выпускается на предприятии Приволжского федерального округа, обеспечивающего более 40% от общего объема производства российских химических материалов.

Фоторезист – светочувствительный полимерный материал для фотолитографии, который используется в ключевом процессе изготовления интегральных микросхем с целью получить на поверхности обрабатываемого материала «окна» для доступа травящих веществ. Строгое соответствие материала необходимым техническим требованиям и стандартам микроэлектронного производства обеспечивает точное формирование элементов на пластине.

Отечественная электронная компонентная база – основа технологической независимости и безопасности страны, так как микроэлектроника – это одна из критических и сквозных технологий. Развитие устройств и систем на основе отечественной ЭКБ является одним из ключевых направлений стратегии развития радиоэлектронной промышленности. Согласно Концепции технологического развития, Россия должна создать собственную базу критических и сквозных технологий и доля отечественных чипов, высокоточных станков, продукции робототехники, фармацевтики и медицинского оборудования, телекоммуникационной техники, программного обеспечения и авиакосмической техники в общем объеме потребления должна составить не менее 75% в 2030 г.

Короткая ссылка